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	AIN UVB UVC WAFER晶圆外延片高光效 AIN UVB UVC WAFER晶圆外延片高光效晶圆的缺陷和成因晶圆分为无图案晶圆（Bare Wafer）和图案晶圆（Patterned wafer），如右图所示。考虑两种晶圆的缺陷类型的出发点有些不同。晶圆表面的缺陷类型很多，既有可能是工	2022-04-21